一種激光刻蝕裝置、方法及系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110792100.2 申請日 -
公開(公告)號 CN113547205A 公開(公告)日 2021-10-26
申請公布號 CN113547205A 申請公布日 2021-10-26
分類號 B23K26/06(2014.01)I;B23K26/067(2006.01)I;B23K26/362(2014.01)I;B23K26/70(2014.01)I 分類 機(jī)床;不包含在其他類目中的金屬加工;
發(fā)明人 王祥;李善基;朱建 申請(專利權(quán))人 深圳銘創(chuàng)智能裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 熊永強
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)福海街道和平社區(qū)永和路45號(金豐智匯谷)F棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種激光刻蝕裝置,包括激光器、擴(kuò)束鏡,分光元件,掃描振鏡和聚焦鏡,分光元件用于將所述激光束分光為第一激光束、第二激光束和第三激光束;所述裝置還包括加工平臺,所述加工平臺包括承物臺和旋轉(zhuǎn)組件;所述承物臺用于承載固定刻蝕標(biāo)的元件,且所述第一激光束、第二激光束和第三激光束分別對應(yīng)所述刻蝕標(biāo)的元件的正面、側(cè)面和背面;所述旋轉(zhuǎn)組件用于驅(qū)動所述承物臺在所述承物臺所處平面內(nèi)旋轉(zhuǎn);所述裝置還包括控制器,所述控制器與所述激光器、所述掃描振鏡、所述旋轉(zhuǎn)組件電連接。本申請還相應(yīng)提供了一種激光刻蝕方法和激光刻蝕系統(tǒng),能夠在mini LED顯示面板的正面、側(cè)面和背面上精確地刻蝕線路。