一種激光刻蝕裝置、方法及系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110792100.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113547205A 公開（公告）日 2021-10-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN113547205A 申請(qǐng)公布日 2021-10-26
分類號(hào) B23K26/06（2014.01）I;B23K26/067（2006.01）I;B23K26/362（2014.01）I;B23K26/70（2014.01）I 分類 機(jī)床；不包含在其他類目中的金屬加工;
發(fā)明人 王祥;李善基;朱建 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳銘創(chuàng)智能裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 熊永強(qiáng)
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)福海街道和平社區(qū)永和路45號(hào)（金豐智匯谷）F棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)公開了一種激光刻蝕裝置，包括激光器、擴(kuò)束鏡，分光元件，掃描振鏡和聚焦鏡，分光元件用于將所述激光束分光為第一激光束、第二激光束和第三激光束；所述裝置還包括加工平臺(tái)，所述加工平臺(tái)包括承物臺(tái)和旋轉(zhuǎn)組件；所述承物臺(tái)用于承載固定刻蝕標(biāo)的元件，且所述第一激光束、第二激光束和第三激光束分別對(duì)應(yīng)所述刻蝕標(biāo)的元件的正面、側(cè)面和背面；所述旋轉(zhuǎn)組件用于驅(qū)動(dòng)所述承物臺(tái)在所述承物臺(tái)所處平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)；所述裝置還包括控制器，所述控制器與所述激光器、所述掃描振鏡、所述旋轉(zhuǎn)組件電連接。本申請(qǐng)還相應(yīng)提供了一種激光刻蝕方法和激光刻蝕系統(tǒng)，能夠在mini LED顯示面板的正面、側(cè)面和背面上精確地刻蝕線路。