多晶硅定向凝固復合裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821928233.8 申請日 -
公開（公告）號 CN209338699U 公開（公告）日 2019-09-03
申請公布號 CN209338699U 申請公布日 2019-09-03
分類號 C30B29/06（2006.01）I; C30B28/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 羊實; 周旭 申請（專利權）人 江蘇斯力康科技有限公司
代理機構 成都行之專利代理事務所（普通合伙） 代理人 江蘇斯力康科技有限公司
地址 224000 江蘇省鹽城市大豐區(qū)大豐港經濟區(qū)中央大道1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了多晶硅定向凝固復合裝置，包括基板，所述基板上設有復合保護套筒，復合保護套筒內用于容納放置筒形石墨模具；所述復合保護套筒包括底板、若干曲面?zhèn)劝搴拖尬画h(huán)，底板上表面沿周向設有安裝槽，安裝槽內設有橡膠密封墊，若干曲面?zhèn)劝宓妮S向底端過渡配合嵌入安裝槽內固定，且任意相鄰的兩個曲面?zhèn)劝宓妮S向側邊相互密封契合使整體呈圓筒形結構，若干曲面?zhèn)劝鍢嫵傻膱A筒形結構頂部可拆卸套設限位環(huán)進行固定；底板上設有冷卻盤，冷卻盤用于與石墨模具的底部接觸。本實用新型提供的定向凝固復合裝置極易方便拆裝復合保護套筒，方便對復合保護套筒進行清除雜質、檢修操作。