多晶硅定向凝固復(fù)合裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821928233.8 申請日 -
公開(公告)號 CN209338699U 公開(公告)日 2019-09-03
申請公布號 CN209338699U 申請公布日 2019-09-03
分類號 C30B29/06(2006.01)I; C30B28/06(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 羊?qū)? 周旭 申請(專利權(quán))人 江蘇斯力康科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都行之專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 江蘇斯力康科技有限公司
地址 224000 江蘇省鹽城市大豐區(qū)大豐港經(jīng)濟(jì)區(qū)中央大道1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了多晶硅定向凝固復(fù)合裝置,包括基板,所述基板上設(shè)有復(fù)合保護(hù)套筒,復(fù)合保護(hù)套筒內(nèi)用于容納放置筒形石墨模具;所述復(fù)合保護(hù)套筒包括底板、若干曲面?zhèn)劝搴拖尬画h(huán),底板上表面沿周向設(shè)有安裝槽,安裝槽內(nèi)設(shè)有橡膠密封墊,若干曲面?zhèn)劝宓妮S向底端過渡配合嵌入安裝槽內(nèi)固定,且任意相鄰的兩個(gè)曲面?zhèn)劝宓妮S向側(cè)邊相互密封契合使整體呈圓筒形結(jié)構(gòu),若干曲面?zhèn)劝鍢?gòu)成的圓筒形結(jié)構(gòu)頂部可拆卸套設(shè)限位環(huán)進(jìn)行固定;底板上設(shè)有冷卻盤,冷卻盤用于與石墨模具的底部接觸。本實(shí)用新型提供的定向凝固復(fù)合裝置極易方便拆裝復(fù)合保護(hù)套筒,方便對復(fù)合保護(hù)套筒進(jìn)行清除雜質(zhì)、檢修操作。