用于單晶硅定向凝固生長(zhǎng)的坩堝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201821909279.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN209323032U 公開(kāi)（公告）日 2019-08-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN209323032U 申請(qǐng)公布日 2019-08-30
分類號(hào) C30B11/00（2006.01）I; C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 羊?qū)? 庹開(kāi)正 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇斯力康科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都行之專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 江蘇斯力康科技有限公司
地址 224000 江蘇省鹽城市大豐區(qū)大豐港經(jīng)濟(jì)區(qū)中央大道1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了用于單晶硅定向凝固生長(zhǎng)的坩堝，包括第一坩堝和第二坩堝，所述第二坩堝套設(shè)在第一坩堝內(nèi)，第二坩堝內(nèi)底部設(shè)有籽晶；所述第二坩堝的外徑小于第一坩堝的內(nèi)徑，在第一坩堝和第二坩堝之間的環(huán)形腔室內(nèi)設(shè)有石墨保溫織套，所述石墨保溫織套呈軸向兩端敞口的筒狀結(jié)構(gòu)，石墨保溫織套的軸向一端通過(guò)連接件固定在環(huán)形腔室的頂端、軸向另一端在重力作用下自然垂掛在環(huán)形腔室底部，且石墨保溫織套的軸向底端設(shè)有配重環(huán)，配重環(huán)的內(nèi)壁與第二坩堝的外壁接觸，配重環(huán)的外壁與第一坩堝的內(nèi)壁接觸。本實(shí)用新型具有良好的保溫效果，利于在定向凝固過(guò)程中獲得高質(zhì)量的單晶硅產(chǎn)品。