高頻感應(yīng)加熱蒸發(fā)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710803689.5 申請日 -
公開（公告）號 CN107400860A 公開（公告）日 2017-11-28
申請公布號 CN107400860A 申請公布日 2017-11-28
分類號 C23C14/26(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 東野斯陽;張誠;陳亮 申請（專利權(quán)）人 三河市衡岳真空設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京漢昊知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 馮譜
地址 835221 新疆維吾爾自治區(qū)伊犁哈薩克自治州霍爾果斯卡拉蘇河歐陸經(jīng)典小區(qū)1號樓1-110-577號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種高頻感應(yīng)加熱蒸發(fā)裝置，包括：多個坩堝、坩堝支架、感應(yīng)線圈、移動機(jī)構(gòu)以及密封機(jī)構(gòu)；多個坩堝，用于盛放鍍膜材料；坩堝支架，用于對多個坩堝進(jìn)行支撐；移動機(jī)構(gòu)，用于驅(qū)動多個坩堝中的目標(biāo)坩堝移動使目標(biāo)坩堝進(jìn)入所述感應(yīng)線圈內(nèi)；感應(yīng)線圈，用于通過通入高頻電流對目標(biāo)坩堝內(nèi)的鍍膜材料進(jìn)行加熱蒸發(fā)；密封機(jī)構(gòu)，用于在移動機(jī)構(gòu)和真空室之間形成密封。本發(fā)明所提供的高頻感應(yīng)加熱蒸發(fā)裝置的優(yōu)點在于：(1)鍍膜材料裝載量大、裝載種類多；(2)蒸發(fā)源位置固定從而使得膜厚具有良好的一致性；(3)可以根據(jù)實際需求增減坩堝數(shù)量，布局方便、定制化程度高；(4)增加坩堝數(shù)量的同時不需要額外增加加熱系統(tǒng)，節(jié)約成本。