真空狀態(tài)下靶材厚度的檢測(cè)方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201811307206.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN109470131A | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-03-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN109470131A | 申請(qǐng)公布日 | 2019-03-15 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01B7/06（2006.01）I; C23C14/35（2006.01）I | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 張誠(chéng) | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 三河市衡岳真空設(shè)備有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京元合聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 李非非;楊興宇 |
| 地址 | 065200 河北省廊坊市三河市燕郊高新區(qū)全景工業(yè)園三期33E | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種真空狀態(tài)下靶材厚度的檢測(cè)方法，該檢測(cè)方法包括：制定自檢濺射工藝，其中濺射功率和工藝氣體壓強(qiáng)被設(shè)置為固定值；濺射設(shè)備和靶材首次配合使用時(shí)，啟動(dòng)濺射設(shè)備執(zhí)行自檢濺射工藝對(duì)靶材進(jìn)行濺射直至靶材被擊穿，記錄執(zhí)行過(guò)程中電壓電流參數(shù)和靶材的厚度之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，若靶材是導(dǎo)電靶材則電壓電流參數(shù)是濺射電壓和/或?yàn)R射電流，若靶材是不導(dǎo)電靶材則電壓電流參數(shù)是射頻濺射工藝產(chǎn)生的直流偏壓；在濺射設(shè)備和靶材再次配合使用的過(guò)程中，當(dāng)需要對(duì)靶材的厚度進(jìn)行檢測(cè)時(shí)啟動(dòng)濺射設(shè)備執(zhí)行自檢濺射工藝，在獲得穩(wěn)定的電壓電流參數(shù)后根據(jù)電壓電流參數(shù)和對(duì)應(yīng)關(guān)系確定靶材的厚度。實(shí)施本發(fā)明可以在真空狀態(tài)下快速準(zhǔn)確地檢測(cè)出靶材的厚度。 |
