一種適用于真空環(huán)境的加熱旋轉(zhuǎn)工件臺以及真空設(shè)備
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020513285.X | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212163758U | 公開（公告）日 | 2020-12-15 |
| 申請公布號 | CN212163758U | 申請公布日 | 2020-12-15 |
| 分類號 | H05B6/36(2006.01)I | 分類 | 其他類目不包含的電技術(shù); |
| 發(fā)明人 | 張誠 | 申請（專利權(quán)）人 | 三河市衡岳真空設(shè)備有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 北京元合聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 李非非 |
| 地址 | 065200河北省廊坊市三河市燕郊高新區(qū)全景工業(yè)園三期33E | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型提供了一種適用于真空環(huán)境的加熱旋轉(zhuǎn)工件臺，該加熱旋轉(zhuǎn)工件臺包括用于承載工件的工件盤、用于驅(qū)動該工件盤旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸、以及加熱部，所述加熱部包括感應(yīng)線圈以及感應(yīng)加熱電源，其中，所述感應(yīng)線圈設(shè)置在所述工件盤背對所述工件的一側(cè)并與所述感應(yīng)加熱電源連接，在所述感應(yīng)加熱電源的作用下所述感應(yīng)線圈對所述工件盤進(jìn)行感應(yīng)加熱。相應(yīng)地，本實用新型還提供了一種配置有該加熱旋轉(zhuǎn)工件臺的真空設(shè)備。實施本實用新型可以實現(xiàn)將工件臺加熱至超過700℃的高溫。?? |
