高頻感應加熱蒸發(fā)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710803689.5 申請日 -
公開（公告）號 CN107400860B 公開（公告）日 2017-11-28
申請公布號 CN107400860B 申請公布日 2017-11-28
分類號 C23C14/26(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 東野斯陽;張誠;陳亮 申請（專利權）人 三河市衡岳真空設備有限公司
代理機構 北京漢昊知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 馮譜
地址 065201河北省廊坊市三河市燕郊高新區(qū)河北興遠有色金屬材料有限公司用地南側、區(qū)間路東側
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種高頻感應加熱蒸發(fā)裝置，包括：多個坩堝、坩堝支架、感應線圈、移動機構以及密封機構；多個坩堝，用于盛放鍍膜材料；坩堝支架，用于對多個坩堝進行支撐；移動機構，用于驅動多個坩堝中的目標坩堝移動使目標坩堝進入所述感應線圈內；感應線圈，用于通過通入高頻電流對目標坩堝內的鍍膜材料進行加熱蒸發(fā)；密封機構，用于在移動機構和真空室之間形成密封。本發(fā)明所提供的高頻感應加熱蒸發(fā)裝置的優(yōu)點在于：(1)鍍膜材料裝載量大、裝載種類多；(2)蒸發(fā)源位置固定從而使得膜厚具有良好的一致性；(3)可以根據實際需求增減坩堝數量，布局方便、定制化程度高；(4)增加坩堝數量的同時不需要額外增加加熱系統(tǒng)，節(jié)約成本。??