一種硅外延設(shè)備加熱系統(tǒng)運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)測裝置及監(jiān)測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010362091.9 申請日 -
公開（公告）號 CN111524837A 公開（公告）日 2020-08-11
申請公布號 CN111524837A 申請公布日 2020-08-11
分類號 H01L21/67(2006.01)I;G05B19/414(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 肖健;袁夫通;宋占洋;馮永平;徐衛(wèi)東 申請（專利權(quán)）人 南京國盛電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 南京國盛電子有限公司
地址 210000江蘇省南京市江寧經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)正方中路166號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了硅外延設(shè)備加熱系統(tǒng)運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)測裝置及監(jiān)測方法，該監(jiān)測裝置包含：外延設(shè)備機(jī)臺、電流互感器、電流信號采集器、控制信號采集器、PLC裝置、運(yùn)算顯示裝置和報(bào)警指示裝置。外延機(jī)臺加熱燈管由可控硅驅(qū)動，電流信號采集裝置采集燈管兩端電流信號傳送到PLC內(nèi)，與控制信號采集裝置采集的信號進(jìn)行運(yùn)算比對，若超過控制閾值則進(jìn)行報(bào)警提示，實(shí)現(xiàn)對加熱燈管的完好情況的在線監(jiān)測，發(fā)現(xiàn)問題及時(shí)報(bào)警，提高外延設(shè)備的效率。??