一種桶式外延爐基座旋轉(zhuǎn)同心度監(jiān)控裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021552729.7 申請日 -
公開（公告）號 CN212659531U 公開（公告）日 2021-03-05
申請公布號 CN212659531U 申請公布日 2021-03-05
分類號 H01L21/687(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 肖健;任凱;肖戰(zhàn)武;黃健 申請（專利權(quán)）人 南京國盛電子有限公司
代理機構(gòu) 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張弛
地址 210000江蘇省南京市江寧經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)正方中路166號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種桶式外延爐基座旋轉(zhuǎn)同心度監(jiān)控裝置，包括：桶式基座，用于裝載硅片；同心度監(jiān)控裝置，用于實時監(jiān)控桶式基座旋轉(zhuǎn)同心度是否為允許范圍，如旋轉(zhuǎn)同心度偏差超出了允許范圍即報警。本實用新型可解決桶式基座旋轉(zhuǎn)同心度的量化監(jiān)控和及時控制，防范了因基座旋轉(zhuǎn)同心度變化導(dǎo)致硅片厚度均勻性異常報廢。??