一種軟性吸盤裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020062321.5 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211812264U | 公開（公告）日 | 2020-10-30 |
| 申請公布號 | CN211812264U | 申請公布日 | 2020-10-30 |
| 分類號 | B65G47/91(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 王伏意;肖健;陳浩;孫鐵成 | 申請（專利權）人 | 南京國盛電子有限公司 |
| 代理機構 | 南京蘇高專利商標事務所（普通合伙） | 代理人 | 南京國盛電子有限公司 |
| 地址 | 210000江蘇省南京市江寧經濟技術開發(fā)區(qū)正方中路166號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種軟性吸盤裝置，包括底板、圍繞底板下表面并與貼合的軟性密封環(huán)，所述軟性密封環(huán)與底板之間圍成一個容腔；底板上具有與容腔連通的抽氣孔；吸盤裝置與外延片接觸后，軟性密封環(huán)與外延片邊緣充分接觸，整體上形成密閉空間，通過容腔上的抽氣孔抽氣，形成負壓，實現裝取片。軟性密封環(huán)與外延片邊緣接觸不會對外延片接觸部分造成壓痕、壓傷的現象，有效提升了外延片良率。同時，采用軟性密封環(huán)上的燕尾槽與燕尾連接件的連接方式，使軟性密封環(huán)磨損后可以拆卸替換，而不需要造成整體吸盤裝置的報廢。?? |
