一種多級浮動渦旋真空泵及其使用方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210278393.3 申請日 -
公開（公告）號 CN103573627A 公開（公告）日 2014-02-12
申請公布號 CN103573627A 申請公布日 2014-02-12
分類號 F04C23/00(2006.01)I;F04C18/02(2006.01)I 分類 液體變?nèi)菔綑C械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 倪詩茂 申請（專利權(quán)）人 思科渦旋科技（杭州）有限公司
代理機構(gòu) 上海申新律師事務(wù)所 代理人 思科渦旋科技（杭州）有限公司
地址 310051 浙江省杭州市濱江區(qū)江陵路88號6幢2樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種多級浮動渦旋真空泵及其使用方法，包括若干真空泵，每一真空泵包括：一固定渦卷基座；一位于基座上的固定渦卷；以及一與固定渦卷做繞動運動的繞動渦卷；其中，位于所述固定渦卷外圈渦卷元件的端板上開設(shè)進氣口，位于所述固定渦卷內(nèi)圈渦卷元件的端板上開設(shè)排氣口，所述排氣口具有一排氣閥組件；每一下游的真空泵的進氣口通過氣管與相鄰的上游的真空泵的排氣口連接。使用本發(fā)明，下游真空泵從上游真空泵的排氣口中抽氣，以此降低上游真空泵排氣口下容積內(nèi)的壓力。打破進氣口和排氣口的動態(tài)平衡。從排氣口向進氣口的回流減少，增加了從進氣口抽取的氣體，從而降低上游進氣口的氣體壓力，提高進氣口的極限真空度。