一種基于螺栓自定位的膜厚監(jiān)測系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710429919.6 申請日 -
公開（公告）號 CN107144249B 公開（公告）日 2019-07-30
申請公布號 CN107144249B 申請公布日 2019-07-30
分類號 G01B21/08（2006.01）I; G05D5/03（2006.01）I; B29C55/12（2006.01）I; B29L7/00（2006.01）N 分類 測量；測試;
發(fā)明人 陳利紅 申請（專利權(quán)）人 浙江凱利新材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 312030 浙江省紹興市柯橋街道柯東高新技術(shù)園區(qū)鏡水路889號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于螺栓自定位的膜厚監(jiān)測系統(tǒng)，其包括采集單元、計算單元、判識單元、調(diào)節(jié)單元和數(shù)據(jù)輸出單元，計算單元基于采集單元采集的厚度曲線數(shù)據(jù)計算曲線各點厚度值和各螺栓位置，判識單元檢索和識別待處理螺栓，在調(diào)節(jié)單元對待處理螺栓進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)后比較調(diào)節(jié)前后膜厚零偏差點的移動，并根據(jù)移動量對各螺栓估計位置進(jìn)行調(diào)整。本發(fā)明通過選定一組螺栓進(jìn)行厚度調(diào)節(jié)和反饋判識，實現(xiàn)對薄膜厚度的實時有效監(jiān)測，準(zhǔn)確的螺栓自定位為膜厚控制提供了依據(jù)，且自定位過程的調(diào)節(jié)動作量小。