一種等離子蝕刻設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120501055.6 申請日 -
公開（公告）號 CN214429787U 公開（公告）日 2021-10-19
申請公布號 CN214429787U 申請公布日 2021-10-19
分類號 H05K3/06（2006.01）I;H01J37/32（2006.01）I 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 趙義黨;李志強(qiáng);李志華;廖文晗;貝亮 申請（專利權(quán)）人 珠海恒格微電子裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 盧澤明
地址 519000廣東省珠海市橫琴新區(qū)寶華路6號105室-63474（集中辦公區(qū)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及電路板加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種等離子蝕刻設(shè)備，包括：基座；蝕刻腔，設(shè)置在基座上，用于容置電路板，并且蝕刻腔的一端敞開；門板，設(shè)置在蝕刻腔上敞開的一端，門板的一側(cè)或兩側(cè)設(shè)置有限位桿；支架，設(shè)置在基座上，設(shè)置有與限位桿相配合的限位孔；本實(shí)用新型的門板能夠沿腰孔的軸線方向移動，而腰孔的下端朝向靠近蝕刻腔的方向傾斜延伸，進(jìn)而保證門板在移動過程中的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性，即門板可以在下降過程中朝向靠近蝕刻腔的方向移動進(jìn)而壓緊以封閉甚至密封蝕刻腔，避免發(fā)生泄漏的問題而影響蝕刻的質(zhì)量和車間的生產(chǎn)環(huán)境。