一種用于微波蝕刻設(shè)備的測溫機(jī)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123298985.5 申請日 -
公開（公告）號 CN216669049U 公開（公告）日 2022-06-03
申請公布號 CN216669049U 申請公布日 2022-06-03
分類號 G01K11/00（2006.01）I;G01K1/08（2021.01）I;G01K1/14（2021.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 李志強(qiáng);廖文晗;趙義黨 申請（專利權(quán)）人 珠海恒格微電子裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 -
地址 519000廣東省珠海市橫琴新區(qū)寶華路6號105室-63474（集中辦公區(qū)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供的用于微波蝕刻設(shè)備的測溫機(jī)構(gòu)，微波蝕刻設(shè)備包括送料機(jī)構(gòu)與蝕刻設(shè)備，送料機(jī)構(gòu)的出料口對接于蝕刻設(shè)備的進(jìn)料口，測溫機(jī)構(gòu)包括測溫傳感器與固定件，固定件包括依次布置的第一回轉(zhuǎn)部、第二回轉(zhuǎn)部與第三回轉(zhuǎn)部，第一回轉(zhuǎn)部與第三回轉(zhuǎn)部的外徑均大于第二回轉(zhuǎn)部的外徑，測溫傳感器抵接于第一回轉(zhuǎn)部，第三回轉(zhuǎn)部可拆卸地固定連接于蝕刻設(shè)備的頂板；測溫傳感器的探測部穿過固定件的內(nèi)腔，內(nèi)腔連通蝕刻設(shè)備的容納腔。電路板進(jìn)入容納腔以進(jìn)行蝕刻，測溫傳感器的探測部插入于固定件的內(nèi)腔，內(nèi)腔連通蝕刻設(shè)備的容納腔，測溫傳感器對容納腔內(nèi)的蝕刻溫度進(jìn)行實(shí)時監(jiān)測，當(dāng)蝕刻溫度不處于預(yù)設(shè)范圍內(nèi)時，可及時發(fā)出警報，防止出現(xiàn)蝕刻不良品。