微波等離子體發(fā)生裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120501309.4 申請日 -
公開（公告）號 CN214429764U 公開（公告）日 2021-10-19
申請公布號 CN214429764U 申請公布日 2021-10-19
分類號 H05H1/46（2006.01）I 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 趙義黨;李志強(qiáng);李志華;廖文晗;貝亮 申請（專利權(quán)）人 珠海恒格微電子裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 盧澤明
地址 519000廣東省珠海市橫琴新區(qū)寶華路6號105室-63474（集中辦公區(qū)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及電路板加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種微波等離子體發(fā)生裝置，包括：等離子腔，連接有第一冷卻組件以及氣體通入組件，所述等離子腔的下端開設(shè)有輸出口；微波導(dǎo)入腔，設(shè)置在所述等離子腔的上端，并且所述等離子腔和所述微波導(dǎo)入腔之間通過石英板隔開，所述微波導(dǎo)入腔連接有第二冷卻組件，本實(shí)用新型的微波等離子體發(fā)生裝置在的等離子腔的上端設(shè)置微波導(dǎo)入腔，并且微波導(dǎo)入腔和等離子腔之間通過石英板隔開，等離子腔連接第一冷卻組件，微波導(dǎo)入腔連接第二冷卻組件，保證整個等離子體發(fā)生裝置的散熱效果，從而延長裝置的使用壽命，并且該裝置長時(shí)間使用后仍可以均勻地產(chǎn)生等離子體，保證蝕刻的質(zhì)量和效率。