一種方便維護(hù)的等離子蝕刻裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120501213.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214627527U 公開(kāi)（公告）日 2021-11-05
申請(qǐng)公布號(hào) CN214627527U 申請(qǐng)公布日 2021-11-05
分類號(hào) H05K3/06（2006.01）I;H01J37/32（2006.01）I 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 趙義黨;李志強(qiáng);李志華;廖文晗;貝亮 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 珠海恒格微電子裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 盧澤明
地址 519000廣東省珠海市橫琴新區(qū)寶華路6號(hào)105室-63474（集中辦公區(qū)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及電路板加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種方便維護(hù)的等離子蝕刻裝置，包括：基座；蝕刻箱，設(shè)置在基座上，具有內(nèi)腔并且上端敞開(kāi)；蓋體，可轉(zhuǎn)動(dòng)蓋設(shè)在蝕刻箱的上端；等離子發(fā)生組件，設(shè)置在蓋體上；轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，一端鉸接在基座上，另一端與蓋體鉸接，轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于驅(qū)使蓋體相對(duì)蝕刻箱轉(zhuǎn)動(dòng)以打開(kāi)或關(guān)閉內(nèi)腔；本實(shí)用新型的等離子蝕刻裝置采用上端敞開(kāi)的蝕刻箱，蓋體連接有轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)并且鉸接在蝕刻箱上，等離子發(fā)生組件安裝在蓋體上，可以通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)使蓋體相對(duì)蝕刻箱轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)而打開(kāi)蝕刻箱，方便清理維護(hù)蝕刻箱內(nèi)部，并且方便對(duì)等離子發(fā)生組件進(jìn)行維護(hù)清理，提升維護(hù)的效率和生產(chǎn)的效率。