一種方便維護(hù)的等離子蝕刻裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120501213.8 申請日 -
公開（公告）號 CN214627527U 公開（公告）日 2021-11-05
申請公布號 CN214627527U 申請公布日 2021-11-05
分類號 H05K3/06（2006.01）I;H01J37/32（2006.01）I 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 趙義黨;李志強(qiáng);李志華;廖文晗;貝亮 申請（專利權(quán)）人 珠海恒格微電子裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 盧澤明
地址 519000廣東省珠海市橫琴新區(qū)寶華路6號105室-63474（集中辦公區(qū)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及電路板加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種方便維護(hù)的等離子蝕刻裝置，包括：基座；蝕刻箱，設(shè)置在基座上，具有內(nèi)腔并且上端敞開；蓋體，可轉(zhuǎn)動蓋設(shè)在蝕刻箱的上端；等離子發(fā)生組件，設(shè)置在蓋體上；轉(zhuǎn)動驅(qū)動機(jī)構(gòu)，一端鉸接在基座上，另一端與蓋體鉸接，轉(zhuǎn)動驅(qū)動機(jī)構(gòu)用于驅(qū)使蓋體相對蝕刻箱轉(zhuǎn)動以打開或關(guān)閉內(nèi)腔；本實用新型的等離子蝕刻裝置采用上端敞開的蝕刻箱，蓋體連接有轉(zhuǎn)動驅(qū)動機(jī)構(gòu)并且鉸接在蝕刻箱上，等離子發(fā)生組件安裝在蓋體上，可以通過轉(zhuǎn)動驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)使蓋體相對蝕刻箱轉(zhuǎn)動進(jìn)而打開蝕刻箱，方便清理維護(hù)蝕刻箱內(nèi)部，并且方便對等離子發(fā)生組件進(jìn)行維護(hù)清理，提升維護(hù)的效率和生產(chǎn)的效率。