一種除膠設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202123299186.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN216670502U 公開（公告）日 2022-06-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN216670502U 申請(qǐng)公布日 2022-06-03
分類號(hào) G03F7/42（2006.01）I;G03F7/00（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 李志強(qiáng);廖文晗;趙義黨 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 珠海恒格微電子裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 -
地址 519000廣東省珠海市橫琴新區(qū)寶華路6號(hào)105室-63474（集中辦公區(qū)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供的除膠設(shè)備包括除膠反應(yīng)機(jī)構(gòu)與基架，除膠反應(yīng)機(jī)構(gòu)布置于基架內(nèi)，除膠設(shè)備包括滑動(dòng)組件，滑動(dòng)組件包括滑軌、滑塊、連接件與彈性件，連接件包括第一橫板、第二橫板與豎板，彈性件的一端抵接于第二橫板，彈性件的另一端抵接于除膠反應(yīng)機(jī)構(gòu)；沿豎直方向投影于水平方向，第一橫板的面積小于第二橫板的面積。當(dāng)需進(jìn)行反應(yīng)腔維護(hù)工作時(shí)，維護(hù)人員只需輕抬除膠反應(yīng)機(jī)構(gòu)，即可使除膠反應(yīng)機(jī)構(gòu)與反應(yīng)腔相互分離，并可沿滑軌移動(dòng)除膠反應(yīng)機(jī)構(gòu)以使其移離反應(yīng)腔的上方，除膠反應(yīng)機(jī)構(gòu)不再對(duì)維護(hù)工作造成妨礙，維護(hù)人員可進(jìn)行反應(yīng)腔的維護(hù)工作，因此，無需進(jìn)行現(xiàn)有技術(shù)中的除膠反應(yīng)機(jī)構(gòu)拆除工序，提高使用便利性。