一種1-3型壓電單晶復(fù)合材料制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111552975.1 申請日 -
公開（公告）號 CN114311351A 公開（公告）日 2022-04-12
申請公布號 CN114311351A 申請公布日 2022-04-12
分類號 B28D5/04（2006.01）I;H01L41/338（2013.01）I 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 汪躍群;李偉;高亮 申請（專利權(quán)）人 杭州瑞聲海洋儀器有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州九洲專利事務(wù)所有限公司 代理人 陳繼亮
地址 311499浙江省杭州市西湖區(qū)留下街道屏峰715號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種1?3型壓電單晶復(fù)合材料制備方法，屬于電子元器件制造技術(shù)領(lǐng)域。該方法由單晶的多線切割工藝、灌注工藝以及后續(xù)的脫模加工、印制電極等工藝過程組成。本方法發(fā)明的雙面多線切割工藝，充分發(fā)揮了線切割小應(yīng)力、接近常溫切割的特點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)對極化后的壓電單晶進(jìn)行高精度切割，制備的壓電單晶復(fù)合材料無明顯退極化，能夠充分發(fā)揮單晶復(fù)合材料的高性能；避免了單晶切割容易崩瓷、斷裂等不利影響。適合1?3型壓電單晶復(fù)合材料的制備，與傳統(tǒng)刀片式切割制備工藝相比，具有明顯的技術(shù)優(yōu)勢。