一種晶圓級(jí)堆疊結(jié)構(gòu)光學(xué)玻璃的切割方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111496265.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114180822A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-03-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114180822A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-15 |
| 分類號(hào) | C03B33/10（2006.01）I;C03B33/00（2006.01）I | 分類 | 玻璃；礦棉或渣棉; |
| 發(fā)明人 | 李亞雄;張強(qiáng) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 華天慧創(chuàng)科技（西安）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 | 代理人 | 張宇鴿 |
| 地址 | 710018陜西省西安市西安經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)鳳城五路123號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種晶圓級(jí)堆疊結(jié)構(gòu)光學(xué)玻璃的切割方法，屬于晶圓級(jí)光學(xué)玻璃切割技術(shù)領(lǐng)域，用以滿足堆疊結(jié)構(gòu)光學(xué)玻璃的切割質(zhì)量要求，同時(shí)規(guī)避由于刀刃暴露量過(guò)長(zhǎng)出現(xiàn)的問(wèn)題。晶圓級(jí)堆疊結(jié)構(gòu)光學(xué)玻璃的切割方法先對(duì)晶圓級(jí)光學(xué)玻璃堆疊結(jié)構(gòu)一端（第一面）切割，切割至沿著切割方向1/2?2/3的位置停止切割，后又經(jīng)過(guò)翻轉(zhuǎn)倒膜，通過(guò)對(duì)準(zhǔn)光線穿過(guò)另一端（第二面）再識(shí)別第一面的刀痕印記，從而保證切割兩面位置一致，保證在垂直方向尺寸精度進(jìn)行切割，完成整個(gè)晶圓級(jí)堆疊結(jié)構(gòu)光學(xué)玻璃的切割。切割后的玻璃背面崩邊小、穩(wěn)定和尺寸精度高，提高了切割質(zhì)量。 |
