一種避免晶圓鍍膜時(shí)中間變形的支架工裝及工作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010187763.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111267017B 公開（公告）日 2022-05-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN111267017B 申請(qǐng)公布日 2022-05-13
分類號(hào) H01L21/67（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I;B25B11/00（2006.01）I 分類 手動(dòng)工具；輕便機(jī)動(dòng)工具；手動(dòng)器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手;
發(fā)明人 王林;李菲 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 華天慧創(chuàng)科技（西安）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 代理人 -
地址 710018陜西省西安市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)鳳城五路123號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種避免晶圓鍍膜時(shí)中間變形的支架工裝及工作方法，本發(fā)明將上吸盤吸附在晶圓的上表面，通過(guò)側(cè)吸盤對(duì)上吸盤施加水平拉力，使晶圓將被拉平，在鍍膜時(shí)晶圓將不會(huì)再下沉，由此可以消除晶圓下沉帶來(lái)的一系列不良狀況。本發(fā)明能夠解決晶圓鍍膜時(shí)因重力造成的下沉問(wèn)題，能夠減小或消除晶圓鍍膜后的翹曲，翹曲減小或消除為后續(xù)工藝的順利進(jìn)行提供方便。重力造成的下沉解決，能夠增強(qiáng)鍍膜質(zhì)量。