硬質(zhì)合金表面沉積CVD金剛石膜的梯度法預(yù)處理工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200810019557.4 申請日 -
公開（公告）號 CN100543177C 公開（公告）日 2009-09-23
申請公布號 CN100543177C 申請公布日 2009-09-23
分類號 C23C16/02(2006.01)I;C23C16/27(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 左敦穩(wěn);盧文壯;徐鋒;黎向鋒;楊春;任衛(wèi)濤;袁佳晶;黃銘敏;吳小軍;蔣艷;王珉 申請（專利權(quán)）人 江蘇揚標(biāo)石油機(jī)械有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京天華專利代理有限責(zé)任公司 代理人 瞿網(wǎng)蘭
地址 210016江蘇省南京市御道街29號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明針對目前的現(xiàn)有的硬質(zhì)合金表面沉積CVD金剛石膜預(yù)處理工藝中棱邊和尖角上脫Co的速度比面上脫Co的速度快，造成棱邊和尖角處強(qiáng)度降低，影響產(chǎn)品的性能，甚至還會造成棱邊和尖角蝕損等問題，發(fā)明了一種硬質(zhì)合金表面沉積CVD金剛石膜的梯度法預(yù)處理工藝，它的主要工藝流程為：拋光(1)→清洗(2)→刻蝕WC(3)→清洗(4)→第一次刻蝕Co(5)→清洗(6)→干燥(7)→涂膠(8)→第二次刻蝕Co(9)→清洗(10)→溶膠(11)→植晶(12)，尤其是其中的涂膠工藝保證了硬質(zhì)合金表面預(yù)處理后滿足CVD金剛石膜的沉積需求，同時使得硬質(zhì)合金產(chǎn)品棱邊和尖角脫Co量與面上的脫Co量基本一致，保證了棱邊和尖角處強(qiáng)度，提高了CVD金剛石膜的性能。