一種半導(dǎo)體封裝件的電鍍方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202010948009.0 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN112342575A | 公開(公告)日 | 2021-02-09 |
申請公布號 | CN112342575A | 申請公布日 | 2021-02-09 |
分類號 | C25D3/12(2006.01)I; | 分類 | 電解或電泳工藝;其所用設(shè)備〔4〕; |
發(fā)明人 | 黃曉波;許秀冬 | 申請(專利權(quán))人 | 安徽龍芯微科技有限公司 |
代理機構(gòu) | 合肥正則元起專利代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 劉生昕 |
地址 | 243000安徽省馬鞍山市鄭蒲港新區(qū)蒲建標(biāo)準(zhǔn)化廠房3# | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體封裝件的電鍍方法,涉及半導(dǎo)體加工領(lǐng)域,打磨拋光,通過使用砂紙對封裝件進行拋光打磨,清除封裝件表面的灰塵和雜質(zhì);調(diào)配電鍍液,將硫酸鎳、次亞磷酸鈉、乙酸鈉、谷胺酸鈉合和去離子水混合成電鍍液,將電鍍液的PH值調(diào)節(jié)至4~5;封裝件夾持定位,將封裝件安裝電鍍裝置內(nèi)的安裝組件上,安裝組件配合安裝在輪轉(zhuǎn)組件上,且給封裝件連接上電極電源;通過設(shè)置輪轉(zhuǎn)組件和安裝組件,將封裝件配合卡接在支撐板上,定位塊配合卡接在安裝板上的定位槽內(nèi),輪轉(zhuǎn)電機旋轉(zhuǎn),帶動輪轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn),能夠?qū)崿F(xiàn)三組安裝組件周期性循環(huán),可以一側(cè)電鍍作業(yè),一側(cè)實現(xiàn)對封裝件的上料和下料,周期性作業(yè)模式能夠大大節(jié)省電鍍作業(yè)的時間,提高電鍍效率。?? |
