一種晶圓用烘干裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811624512.X 申請日 -
公開（公告）號 CN109663723B 公開（公告）日 2021-10-08
申請公布號 CN109663723B 申請公布日 2021-10-08
分類號 B05D3/04 分類 一般噴射或霧化；對表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕;
發(fā)明人 黃曉波;羅云紅 申請（專利權(quán)）人 安徽龍芯微科技有限公司
代理機構(gòu) 重慶強大凱創(chuàng)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王攀
地址 243000 安徽省馬鞍山市鄭蒲港新區(qū)蒲建標準化廠房3#
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及芯片加工領(lǐng)域，具體公開了一種晶圓用烘干裝置，包括烘干箱，烘干箱內(nèi)設(shè)有濕度傳感器、驅(qū)動機構(gòu)和放置機構(gòu)，放置機構(gòu)包括多個放置單元，驅(qū)動機構(gòu)的下方設(shè)有可間歇撥動放置單元移動的撥動組件，撥動組件由濕度傳感器控制。本技術(shù)方案解決了現(xiàn)有的烘干裝置在對光刻后的晶圓進行烘干時存在的烘干速度慢和烘干不均勻的問題。