一種芯片加工用雙工位固晶機及其使用方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910738734.2 申請日 -
公開(公告)號 CN110459491B 公開(公告)日 2021-07-27
申請公布號 CN110459491B 申請公布日 2021-07-27
分類號 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;H01L33/48(2010.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃曉波;沈田 申請(專利權(quán))人 安徽龍芯微科技有限公司
代理機構(gòu) 北京和信華成知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 代理人 胡劍輝
地址 243000安徽省馬鞍山市鄭蒲港新區(qū)蒲建標準化廠房3#
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種芯片加工用雙工位固晶機及其使用方法,包括工作臺,所述工作臺為長方體空腔結(jié)構(gòu),所述工作臺的臺面中間位置固定設置有轉(zhuǎn)動腔,所述轉(zhuǎn)動腔的上方固定設置有轉(zhuǎn)動搖桿,所述轉(zhuǎn)動搖桿的一端固定設置有固晶腔,所述固晶腔的下方分別設置有加工臺一和加工臺二,所述加工臺一和加工臺二分別設置在工作臺的臺面上,所述工作臺的臺面一側(cè)還設置有加熱臺,通過在工作臺的臺面上設置加工臺一和加工臺二,當操作人員對加工臺一上的芯片進行裝夾時,加工臺二上完成芯片的固晶加工,依次循環(huán)操作,提高芯片固晶加工效率;通過設置多個驅(qū)動機構(gòu)使固晶擺臂的固晶角度和高度能夠進行調(diào)整,提高固晶擺臂的適用性。