張力檢測裝置及原子層沉積設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020682211.9 申請日 -
公開（公告）號 CN212355909U 公開（公告）日 2021-01-15
申請公布號 CN212355909U 申請公布日 2021-01-15
分類號 B65H23/04(2006.01)I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運薄的或細絲狀材料;
發(fā)明人 李哲峰;烏磊 申請（專利權(quán)）人 深圳市原速光電科技有限公司
代理機構(gòu) 深圳市世紀恒程知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 方昊佳
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)新安街道群輝路1號優(yōu)創(chuàng)空間一號樓511-513
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種張力檢測裝置及原子層沉積設(shè)備，通過合理安排所述第一傳送輥和兩個所述第二傳送輥的相對位置，也即，兩所述第二傳送輥設(shè)置于所述第一傳送輥兩側(cè)并與所述第一傳送輥平行設(shè)置；且所述第一傳送輥與所述第二傳送輥分別位于物料的兩側(cè)，以使所述物料在所述第一傳送輥與所述第二傳送輥構(gòu)成的傳送路徑上呈彎曲狀傳送，產(chǎn)生對所述第一傳送輥的壓力，并通過所述第一傳送輥上兩端的張力傳感器檢測所述物料也即基材的張力，從而可以獲知物料在所述張力檢測裝置上傳送時的張力，并基于檢測結(jié)果對所述物料的張力進行調(diào)節(jié)，從而可以提高原子層沉積品質(zhì)。??