一種冷水輥及原子層沉積設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | 2020206698111 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN212426181U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-01-29 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212426181U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-01-29 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C16/54(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I | 分類(lèi) | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 李哲峰;烏磊 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 深圳市原速光電科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳市世紀(jì)恒程知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 | 代理人 | 薛福玲 |
| 地址 | 518000廣東省深圳市寶安區(qū)新安街道群輝路1號(hào)優(yōu)創(chuàng)空間一號(hào)樓511-513 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供了一種冷水輥及原子層沉積設(shè)備，其中冷水輥主要包括外筒和內(nèi)筒。內(nèi)筒的軸心位置開(kāi)設(shè)第一流道，且內(nèi)筒套設(shè)于外筒內(nèi)，外筒的周壁與內(nèi)筒的周壁之間形成第二流道，第二流道呈螺旋設(shè)置，第一流道與所述第二流道連通，可使冷水從第一流道進(jìn)入，再流至第二流道內(nèi)，由于第二流道呈螺旋設(shè)置，使得第二流道內(nèi)的水流與冷水輥的接觸面積增大，有效降低冷水輥的熱量，提高冷水輥與卷料之間的熱交換效果。?? |
