卷料裝置及原子層沉積設(shè)備
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020672791.3 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212335296U | 公開（公告）日 | 2021-01-12 |
| 申請公布號 | CN212335296U | 申請公布日 | 2021-01-12 |
| 分類號 | C23C16/54(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I | 分類 | 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 李哲峰;烏磊 | 申請（專利權(quán)）人 | 深圳市原速光電科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳市世紀(jì)恒程知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 | 代理人 | 胡海國 |
| 地址 | 518000廣東省深圳市寶安區(qū)新安街道群輝路1號優(yōu)創(chuàng)空間一號樓511-513 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種卷料裝置及原子層沉積設(shè)備，其中，卷料裝置包括驅(qū)動件、第一承重座、第二承重座、卷料軸及原點檢測裝置，第一承重座上設(shè)置有第一安全夾頭，第二承重座與第一承重座相對設(shè)置，第二承重座上設(shè)置有第二安全夾頭，卷料軸具有相對的安裝端及驅(qū)動端，安裝端與第二安全夾頭轉(zhuǎn)動連接，驅(qū)動端與第一安全夾頭轉(zhuǎn)動連接，并用于與驅(qū)動件驅(qū)動連接，以使卷料軸用于對纏繞設(shè)置于其上的待沉積樣品進(jìn)行卷料處理，原點檢測裝置安裝于驅(qū)動件上，原點檢測裝置用于檢測第一安全夾頭的轉(zhuǎn)動位置，以使第一安全夾頭復(fù)位至預(yù)設(shè)安裝位置。本實用新型改進(jìn)了卷料裝置的安全夾頭及其連接部件的結(jié)構(gòu)，提升了卷料裝置的裝配效率，節(jié)省了裝配所需的時間。?? |
