卷料固定裝置及原子層沉積設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020673238.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212610892U | 公開（公告）日 | 2021-02-26 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212610892U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-26 |
| 分類號(hào) | C23C16/455(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 李哲峰;烏磊;聆領(lǐng)安辛 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 深圳市原速光電科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳市世紀(jì)恒程知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 | 代理人 | 付海萍 |
| 地址 | 518000廣東省深圳市寶安區(qū)新安街道群輝路1號(hào)優(yōu)創(chuàng)空間一號(hào)樓511-513 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種卷料固定裝置及原子層沉積設(shè)備，其中，卷料固定裝置包括第一承重座、第二承重座及卷料軸，第一承重座上設(shè)置有第一安全夾頭，第二承重座與第一承重座相對(duì)設(shè)置，第二承重座上設(shè)置有第二安全夾頭，卷料軸具有相對(duì)的安裝端及驅(qū)動(dòng)端，安裝端與第二安全夾頭轉(zhuǎn)動(dòng)連接，驅(qū)動(dòng)端與第一安全夾頭轉(zhuǎn)動(dòng)連接，并用于與卷料裝置的驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)連接，以使卷料軸用于對(duì)纏繞設(shè)置于其上的待沉積樣品進(jìn)行卷料處理。本實(shí)用新型改進(jìn)了卷料固定裝置的結(jié)構(gòu)，提升了卷料固定裝置的裝配效率，方便組裝卷料固定裝置的各零部件，節(jié)省了裝配所需的時(shí)間。?? |
