一種雙泵500管徑的升華儀
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010471988.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111790175A | 公開（公告）日 | 2020-10-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111790175A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-10-20 |
| 分類號(hào) | B01D7/00(2006.01)I | 分類 | 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置; |
| 發(fā)明人 | 孔令杰;李曉麗;杜希文 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 安徽貝意克智能科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥正則元起專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 安徽貝意克智能科技有限公司 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市肥西縣桃花工業(yè)園拓展區(qū)創(chuàng)新大道與繁華大道交叉口工投立恒廣場(chǎng)二期A12棟第9層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種雙泵500管徑的升華儀，包括十溫區(qū)加熱爐、柜體、進(jìn)氣端法蘭管、觀察口、質(zhì)量流量計(jì)、溫控器、真空控制器、抽氣端法蘭管、觸摸屏、散熱風(fēng)扇、第一機(jī)械泵、第一氣動(dòng)擋板閥、第一分子泵、第一電離規(guī)、第一雙層冷阱、第一粗抽管道、第一細(xì)抽管道、第一插板閥、第二氣動(dòng)擋板閥、第三氣動(dòng)擋板閥、第一電阻規(guī)、進(jìn)氣閥、石英管、第四氣動(dòng)擋板閥、第二電阻規(guī)、第五氣動(dòng)擋板閥、第二插板閥、第二雙層冷阱、第二電離規(guī)、第二分子泵、第二機(jī)械泵、第六氣動(dòng)擋板閥、第二粗抽管道、第二細(xì)抽管道、電動(dòng)拉桿、第一熱電偶、第二熱電偶、第三熱電偶和第四熱電偶；本發(fā)明是采用雙向真空系統(tǒng)，依據(jù)增大石英管的腔體直徑來(lái)提升載料量。?? |
