一種雙泵500管徑的升華儀

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020940351.1 申請日 -
公開(公告)號 CN212594082U 公開(公告)日 2021-02-26
申請公布號 CN212594082U 申請公布日 2021-02-26
分類號 B01D7/00(2006.01)I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 孔令杰;李曉麗;杜希文 申請(專利權(quán))人 安徽貝意克智能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥正則元起專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 韓立峰
地址 230000安徽省合肥市肥西縣桃花工業(yè)園拓展區(qū)創(chuàng)新大道與繁華大道交叉口工投立恒廣場二期A12棟第9層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種雙泵500管徑的升華儀,包括十溫區(qū)加熱爐、柜體、進(jìn)氣端法蘭管、觀察口、質(zhì)量流量計、溫控器、真空控制器、抽氣端法蘭管、觸摸屏、散熱風(fēng)扇、第一機(jī)械泵、第一氣動擋板閥、第一分子泵、第一電離規(guī)、第一雙層冷阱、第一粗抽管道、第一細(xì)抽管道、第一插板閥、第二氣動擋板閥、第三氣動擋板閥、第一電阻規(guī)、進(jìn)氣閥、石英管、第四氣動擋板閥、第二電阻規(guī)、第五氣動擋板閥、第二插板閥、第二雙層冷阱、第二電離規(guī)、第二分子泵、第二機(jī)械泵、第六氣動擋板閥、第二粗抽管道、第二細(xì)抽管道、電動拉桿、第一熱電偶、第二熱電偶、第三熱電偶和第四熱電偶;本實用新型是采用雙向真空系統(tǒng),依據(jù)增大石英管的腔體直徑來提升載料量。??