一種基于MEMS芯片應(yīng)用的傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120811989.X 申請日 -
公開（公告）號 CN214734498U 公開（公告）日 2021-11-16
申請公布號 CN214734498U 申請公布日 2021-11-16
分類號 B81B7/02（2006.01）I;B81B7/00（2006.01）I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 敖雪飛 申請（專利權(quán)）人 河源芯元科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 523000廣東省東莞市望牛墩鎮(zhèn)望牛墩北環(huán)路27號6號樓601室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種基于MEMS芯片應(yīng)用的傳感器，包括封裝殼體，所述封裝殼體的內(nèi)壁中部設(shè)有MEMS芯片，且MEMS芯片的底端設(shè)有封裝基座，所述封裝基座的頂部外壁中部設(shè)有鋁鏡，且封裝基座的外邊靠近鋁鏡的一側(cè)設(shè)有CMOS讀出電路，所述CMOS讀出電路和鋁鏡之間電性連接。本實(shí)用新型由于芯片的微型化和硅材料的優(yōu)秀質(zhì)量，可實(shí)現(xiàn)非常高的測量靈敏度，硅通道可以很高的頻率振動，縮短測量時間，并使測量信號不受外部機(jī)械干擾振動的影響，通道與環(huán)境之間不會有較大的溫度差，使得密度測量時所需溫度信息可精確而容易地確定下來。