基于平面螺型結(jié)的耐高壓元件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921625029.3 申請日 -
公開（公告）號 CN210467849U 公開（公告）日 2020-05-05
申請公布號 CN210467849U 申請公布日 2020-05-05
分類號 H01L29/06;H01L21/265;H01L21/22 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 曲迪;明辰;白國人;王磊;李康;陳景春 申請（專利權(quán)）人 華慧科銳（天津）科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津市鼎和專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 天津華慧芯科技集團(tuán)有限公司;華慧科銳（天津）科技有限公司
地址 300467 天津市濱海新區(qū)生態(tài)城中天大道1620號生態(tài)科技園啟發(fā)大廈12層101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種基于平面螺型結(jié)的耐高壓元件，涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，其特征在于：至少包括：單晶硅片、位于單晶硅片上表面的第二導(dǎo)電類型輕摻層和第一絕緣層、位于第二導(dǎo)電類型輕摻層一端的第一導(dǎo)電類型重?fù)诫s層、位于第二導(dǎo)電類型輕摻層另一端的第二導(dǎo)電類型重?fù)綄?、與第一導(dǎo)電類型重?fù)诫s層連通的第一電極、與第二導(dǎo)電類型重?fù)綄舆B通的第二電極；第二導(dǎo)電類型輕摻層成螺旋結(jié)構(gòu)；所述第一絕緣層位于第二導(dǎo)電類型輕摻層的兩側(cè)；第二導(dǎo)電類型輕摻層、第一絕緣層、第一導(dǎo)電類型重?fù)诫s層和第二導(dǎo)電類型重?fù)綄游挥谕黄矫鎯?nèi)；第一電極垂直于上述平面；所述第二電極垂直于上述平面；位于平面上的第二絕緣層。