一種可移動的光刻板固定夾具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920519600.7 申請日 -
公開（公告）號 CN211403119U 公開（公告）日 2020-09-01
申請公布號 CN211403119U 申請公布日 2020-09-01
分類號 G03F7/20(2006.01)I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 曲迪;閆青芝;陳墨;白國人;宋學穎;靳春艷 申請（專利權）人 華慧科銳（天津）科技有限公司
代理機構 天津市鼎和專利商標代理有限公司 代理人 天津華慧芯科技集團有限公司;華慧科銳（天津）科技有限公司
地址 300467天津市濱海新區(qū)生態(tài)城中天大道1620號生態(tài)科技園啟發(fā)大廈12層101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種可移動的光刻板固定夾具，涉及半導體制備設備技術領域，包括可移動的支撐臺和若干組真空吸附裝置，涉及半導體制備設備技術領域，所述支撐臺上開設有圓形通孔，所述真空吸附裝置沿所述通孔的周向均勻的設在支撐臺的上端面；光刻板通過真空吸附裝置居中的吸附在支撐臺的下端面。每組所述真空吸附裝置包括若干個與所述通孔同軸設置的通透真空孔，每組真空吸附裝置中的真空孔上端面設有一個與支撐臺吸附的真空吸盤；所述真空吸盤的底部中心設有與該組真空孔連通的真空管；所有真空管的末端與一個真空開關連接。該固定夾具不僅便于調整光刻板位置、而且使用方便快捷，能根據需要隨時移動到指定位置。??