基于W3光子晶體缺陷波導(dǎo)的分布式反饋激光器及制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010671274.9 申請日 -
公開（公告）號 CN111916998A 公開（公告）日 2020-11-10
申請公布號 CN111916998A 申請公布日 2020-11-10
分類號 H01S5/12;H01S5/10 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃翊東;崔開宇;劉仿;馮雪;張巍 申請（專利權(quán)）人 華慧科銳（天津）科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 苗曉靜
地址 100084 北京市海淀區(qū)雙清路30號清華大學(xué)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實(shí)施例提供一種基于W3光子晶體缺陷波導(dǎo)的分布式反饋激光器及制備方法，分布式反饋激光器包括P電極、P摻雜層、量子阱有源層、N摻雜層和N電極；有源光子晶體波導(dǎo)層中包括有兩個微孔波導(dǎo)陣列，分布在P電極的兩側(cè)，微孔波導(dǎo)陣列由多個微孔按照預(yù)設(shè)陣列結(jié)構(gòu)排列形成，每個微孔均貫穿P摻雜層、量子阱有源層和N摻雜層，并在襯底上表面截止；沿線缺陷光子晶體波導(dǎo)方向去除二維圖形結(jié)構(gòu)中的3列微孔，形成W3光子晶體缺陷波導(dǎo)。本發(fā)明實(shí)施例利用W3光子晶體缺陷波導(dǎo)中前向波與反向波耦合產(chǎn)生的慢光效應(yīng)設(shè)計(jì)超短激光諧振腔，從而可以降低芯片體積，進(jìn)而可以降低器件成本并提高芯片可集成性能。