一種化學(xué)氣相沉積和掃描電鏡聯(lián)用設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920976449.X 申請日 -
公開（公告）號 CN210198999U 公開（公告）日 2020-03-27
申請公布號 CN210198999U 申請公布日 2020-03-27
分類號 G01N23/2251;C23C16/44 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王磊;曲迪;李康;陳景春;宋學(xué)穎;姬靜遠;梁娟 申請（專利權(quán)）人 華慧科銳（天津）科技有限公司
代理機構(gòu) 天津市鼎和專利商標代理有限公司 代理人 天津華慧芯科技集團有限公司;華慧科銳（天津）科技有限公司
地址 300467 天津市濱海新區(qū)生態(tài)城中天大道1620號生態(tài)科技園啟發(fā)大廈12層101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種化學(xué)氣相沉積和掃描電鏡聯(lián)用設(shè)備，包括掃描電鏡樣品室外殼、掃描電鏡樣品室、電子束鏡筒、樣品臺、溫度控制器、加熱棒、熱電偶、壓差光闌和氣體注入系統(tǒng)，溫度控制器通過控制線與加熱棒和熱電偶連接，加熱棒和熱電偶均設(shè)置在樣品臺內(nèi)；壓差光闌位于電子束鏡筒出口處；氣體注入系統(tǒng)包括氣體注入系統(tǒng)外殼和氣體管道，氣體注入系統(tǒng)外殼固定在掃描電鏡樣品室外殼上，氣體管道固定在氣體注入系統(tǒng)外殼內(nèi)且兩端均穿過氣體注入系統(tǒng)外殼，氣體管道上設(shè)有流量計和針閥，氣體管道出口側(cè)延伸至樣品臺上方。該設(shè)備可以實現(xiàn)對材料生長過程實時觀測其形貌變化，從而精確控制材料生長和揭示材料生長機理，在物理學(xué)和材料學(xué)領(lǐng)域有很大應(yīng)用前景。