一種電子束蒸鍍設(shè)備用可同時自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的樣片盤載具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022703197.9 申請日 -
公開（公告）號 CN213895980U 公開（公告）日 2021-08-06
申請公布號 CN213895980U 申請公布日 2021-08-06
分類號 C23C14/30（2006.01）I;C23C14/50（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 宋學(xué)穎;白國人;林海鵬;陳帥;陳景春;王磊;李玉源;曲迪 申請（專利權(quán)）人 華慧科銳（天津）科技有限公司
代理機構(gòu) 天津市鼎和專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 蒙建軍
地址 300456天津市濱海新區(qū)中新天津生態(tài)城濱鴻創(chuàng)業(yè)園二區(qū)2#1層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種電子束蒸鍍設(shè)備用可同時自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的樣片盤載具，屬于半導(dǎo)體材料技術(shù)領(lǐng)域，其特征在于，包括：由電機帶動實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)運動的中軸；固定安裝在中軸上的主動齒輪盤；與中軸同軸設(shè)置圓盤；圓盤的內(nèi)側(cè)設(shè)置有內(nèi)齒輪；固定圓盤的固定軸；設(shè)置于主動齒輪盤和圓盤之間的多個樣品盤；樣品盤分別與所述內(nèi)齒輪、主動齒輪盤相嚙合，固定軸不少于兩個。本申請將現(xiàn)有技術(shù)中的中間軸更換成一個帶齒輪的結(jié)構(gòu)，在原結(jié)構(gòu)的最外圈懸掛一個有內(nèi)齒輪的圓盤，這個圓盤通過固定軸固定，在中間軸和圓盤直接放置多個小尺寸的樣品盤，這樣，樣品盤就能夠達到既可以自轉(zhuǎn)也可以公轉(zhuǎn)的效果，放置在這樣的樣品盤上的芯片的膜厚將更加均勻。