一種單片晶圓顯影花籃
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202022714905.9 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN213340308U | 公開（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申請公布號 | CN213340308U | 申請公布日 | 2021-06-01 |
| 分類號 | H01L21/673（2006.01）I;G03F7/30（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 宋學(xué)穎;陳帥;王磊;陳景春;白國人;李玉源;曲迪 | 申請（專利權(quán)）人 | 華慧科銳（天津）科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 天津市鼎和專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 蒙建軍 |
| 地址 | 300456天津市濱海新區(qū)中新天津生態(tài)城濱鴻創(chuàng)業(yè)園二區(qū)2#1層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種單片晶圓顯影花籃，屬于半導(dǎo)體材料技術(shù)領(lǐng)域，其特征在于，至少包括：圓環(huán)結(jié)構(gòu)的托盤；所述托盤由圓環(huán)結(jié)構(gòu)的上托盤和下托盤疊加而成，上托盤和下托盤為一體成型結(jié)構(gòu)，所述托盤的外側(cè)壁開設(shè)有卡槽；所述托盤上開設(shè)有上下片豁口；把手；所述把手與托盤的外側(cè)壁連接。本申請中的單片晶圓顯影花籃結(jié)構(gòu)簡單合理，適用于單片晶圓的顯影操作，通過將顯影面朝下倒置顯影保證了晶圓表面光刻圖形不被沾污；通過卡槽使晶圓在顯影晃動時能夠穩(wěn)固晶圓片不易滑落；花籃托盤在顯影時可完全浸沒與顯影液中，使顯影液與曝光后的光刻膠充分溶解。顯影花籃把手便于對晶圓的移動，可以及時的將晶圓由顯影液轉(zhuǎn)移到定影液中，提升了顯影精度。?? |
