一種適用于小尺寸基片的光刻用真空基片夾具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920524111.0 申請日 -
公開（公告）號 CN209980011U 公開（公告）日 2020-01-21
申請公布號 CN209980011U 申請公布日 2020-01-21
分類號 G03F7/20 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 閆青芝;曲迪;陳墨;白國人;靳春艷 申請（專利權(quán)）人 華慧科銳（天津）科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津市鼎和專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 天津華慧芯科技集團(tuán)有限公司;華慧科銳（天津）科技有限公司
地址 300467 天津市濱海新區(qū)生態(tài)城中天大道1620號生態(tài)科技園啟發(fā)大廈12層101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種適用于小尺寸基片的光刻用真空基片夾具，涉及半導(dǎo)體制備技術(shù)領(lǐng)域，該真空基片夾具包括真空載物臺；載物臺內(nèi)設(shè)有N組真空吸附結(jié)構(gòu)；每個真空吸附結(jié)構(gòu)下端連接有抽真空結(jié)構(gòu)；每組真空吸附結(jié)構(gòu)包括沿載物臺厚度方向設(shè)置的M個第一真空孔，第一真空孔為通孔；相鄰的第一真空孔之間通過設(shè)在載物臺內(nèi)部的真空槽相連通；還包括設(shè)在載物臺上可拆卸的輔助裝置；該輔助裝置上設(shè)有與第一真空孔連通的第二真空孔；基片覆蓋在第二真空孔之上；輔助裝置上端與基片緊密貼合，輔助裝置下端與載物臺緊密貼合。該夾具不僅便于調(diào)整基片位置、而且能夠一機(jī)多用，提高夾具利用率、降低成本。