一種磁控濺射設備用樣品固定輔助工裝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022714343.8 申請日 -
公開（公告）號 CN213680870U 公開（公告）日 2021-07-13
申請公布號 CN213680870U 申請公布日 2021-07-13
分類號 C23C14/35（2006.01）I;C23C14/50（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 宋學穎;白國人;林海鵬;陳帥;陳景春;王磊;曲迪 申請（專利權）人 華慧科銳（天津）科技有限公司
代理機構 天津市鼎和專利商標代理有限公司 代理人 蒙建軍
地址 300456天津市濱海新區(qū)中新天津生態(tài)城濱鴻創(chuàng)業(yè)園二區(qū)2#1層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種磁控濺射設備用樣品固定輔助工裝，屬于磁控濺射設備技術領域，其特征在于，至少包括：長度為a的水平板；固定于水平板一端的左側翹板；固定于水平板另一端的右側翹板；其中：所述左側翹板和右側翹板的長度均為b；且所述左側翹板和右側翹板位于水平板的同一側，三者為共面關系，所述左側翹板和水平板之間的夾角為135度，所述右側翹板和水平板之間的夾角為135度；在所述左側翹板和右側翹板的中心分別開設有一個4mm直徑的螺絲孔，所述左側翹板、水平板和右側翹板為一體成型結構，所述左側翹板、水平板和右側翹板為不銹鋼制成。通過采用上述技術方案，本實用新型具有固定不同高度樣品的功能。