一種晶圓片厚度的檢測(cè)機(jī)構(gòu)及其檢測(cè)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110287065.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112902903A 公開(kāi)（公告）日 2021-06-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN112902903A 申請(qǐng)公布日 2021-06-04
分類(lèi)號(hào) G01B21/08;H01L21/66 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 王育平;林志陽(yáng);蘭其斌 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 廈門(mén)特儀科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 361000 福建省廈門(mén)市廈門(mén)火炬高新區(qū)信息光電園金豐大廈809A室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種晶圓片厚度的檢測(cè)機(jī)構(gòu)及其檢測(cè)方法，包括由底板和側(cè)板組成的L形底座、x軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、y軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、晶圓放置平臺(tái)、上測(cè)頭微調(diào)機(jī)構(gòu)、下測(cè)頭微調(diào)機(jī)構(gòu)；x軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)于底板上，y軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上方通過(guò)平臺(tái)連接塊與晶圓放置平臺(tái)相連；上測(cè)頭微調(diào)機(jī)構(gòu)和下測(cè)頭微調(diào)機(jī)構(gòu)分別通過(guò)上連接塊和下連接塊固定于測(cè)頭固定板上；測(cè)頭固定板固定于側(cè)板上；晶圓放置平臺(tái)置于上測(cè)頭微調(diào)機(jī)構(gòu)與下測(cè)頭微調(diào)機(jī)構(gòu)之間；上測(cè)頭微調(diào)機(jī)構(gòu)和下測(cè)頭微調(diào)機(jī)構(gòu)均可進(jìn)行xyzθ四軸微調(diào)。本發(fā)明使用了xyzθ四軸微調(diào)平臺(tái)，搭配可調(diào)Z軸，晶圓放置平臺(tái)用精密手搖輪給絲桿移動(dòng)位置，整體結(jié)構(gòu)緊湊，確保了測(cè)量調(diào)整的方便性、測(cè)量精度和隨時(shí)攜帶的方便性。