一種晶圓片厚度的檢測機(jī)構(gòu)及其檢測方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110287065.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112902903A | 公開（公告）日 | 2021-06-04 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112902903A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-04 |
| 分類號(hào) | G01B21/08;H01L21/66 | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 王育平;林志陽;蘭其斌 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 廈門特儀科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 361000 福建省廈門市廈門火炬高新區(qū)信息光電園金豐大廈809A室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種晶圓片厚度的檢測機(jī)構(gòu)及其檢測方法，包括由底板和側(cè)板組成的L形底座、x軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、y軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、晶圓放置平臺(tái)、上測頭微調(diào)機(jī)構(gòu)、下測頭微調(diào)機(jī)構(gòu)；x軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)于底板上，y軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上方通過平臺(tái)連接塊與晶圓放置平臺(tái)相連；上測頭微調(diào)機(jī)構(gòu)和下測頭微調(diào)機(jī)構(gòu)分別通過上連接塊和下連接塊固定于測頭固定板上；測頭固定板固定于側(cè)板上；晶圓放置平臺(tái)置于上測頭微調(diào)機(jī)構(gòu)與下測頭微調(diào)機(jī)構(gòu)之間；上測頭微調(diào)機(jī)構(gòu)和下測頭微調(diào)機(jī)構(gòu)均可進(jìn)行xyzθ四軸微調(diào)。本發(fā)明使用了xyzθ四軸微調(diào)平臺(tái)，搭配可調(diào)Z軸，晶圓放置平臺(tái)用精密手搖輪給絲桿移動(dòng)位置，整體結(jié)構(gòu)緊湊，確保了測量調(diào)整的方便性、測量精度和隨時(shí)攜帶的方便性。 |
