一種硅基Micro OLED微顯示器高精度角度測試方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110172590.6 申請日 -
公開（公告）號 CN112985774A 公開（公告）日 2021-06-18
申請公布號 CN112985774A 申請公布日 2021-06-18
分類號 G01M11/02;G01N21/25;G01B11/26 分類 測量；測試;
發(fā)明人 鄭培權(quán);黃增興;林志陽;陳嘉劼;朱一柯;鄭明全 申請（專利權(quán)）人 廈門特儀科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 361000 福建省廈門市廈門火炬高新區(qū)信息光電園金豐大廈809A室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅基Micro OLED微顯示器高精度角度測試方法，包括以下步驟：1）、確定光譜儀的鏡頭與平臺A軸垂直；2）、尋找B軸的機械圓心；3）、設(shè)定五軸的機械原點；4）、進(jìn)行角度擬合；5）、實際產(chǎn)品放置于平臺上時的X、Y、Z軸坐標(biāo)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的五軸角度測試方法具有成本低、精度高（1～2um級別），可滿足小尺寸產(chǎn)品任意角度的測試。