一種磁旋轉(zhuǎn)弧等離子體制備納米硅球、納米硅線的方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011475909.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112591755A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-04-02 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112591755A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-02 |
| 分類(lèi)號(hào) | C01B33/021(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I | 分類(lèi) | 無(wú)機(jī)化學(xué); |
| 發(fā)明人 | 楊啟煒;聞光東;吳劍驊;張銘;李如龍;徐響;任其龍 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 衢州晶洲科技發(fā)展有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 杭州天勤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 胡紅娟 |
| 地址 | 324000浙江省衢州市春城路15號(hào)624室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種磁旋轉(zhuǎn)弧等離子體制備納米硅球、納米硅線的方法，包括步驟：(1)工作氣體通入等離子體炬內(nèi)，經(jīng)起弧后在外加磁場(chǎng)的作用下形成磁旋轉(zhuǎn)弧等離子體；(2)以微米級(jí)的多晶硅粉體作為原料，以輸送氣體作為載氣通入等離子炬，穿過(guò)步驟(1)所形成的磁旋轉(zhuǎn)弧等離子體高溫區(qū)熔融氣化；(3)經(jīng)步驟(2)處理后的產(chǎn)物隨載氣進(jìn)入冷卻室，通過(guò)噴嘴噴入淬冷氣體進(jìn)行冷卻降溫，得到納米硅粉；所述納米硅粉微觀形貌為納米硅球或納米硅線。本發(fā)明方法以微米級(jí)的多晶硅粉體作為原料，能夠制備出形貌可控的納米硅球及納米硅線，工藝簡(jiǎn)單、安全環(huán)保、過(guò)程連續(xù)可控、成本低廉，適用于納米硅粉的大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)。?? |
