一種雙面氧化鋁鈍化背面局部接觸高效率晶體硅太陽(yáng)能電池的制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710794936.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109473504A 公開(kāi)（公告）日 2019-03-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN109473504A 申請(qǐng)公布日 2019-03-15
分類(lèi)號(hào) H01L31/18（2006.01）I; H01L31/068（2012.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 李良; 李化陽(yáng); 張良; 王霞; 姚玉; 王俊 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 鎮(zhèn)江大全太陽(yáng)能有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 212200江蘇省鎮(zhèn)江市揚(yáng)中市新壩鎮(zhèn)大全路66號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種雙面氧化鋁鈍化背面局部接觸高效率晶體硅太陽(yáng)能電池的制作方法，包括如下步驟：（1）硅片去損傷&制絨；（2）磷擴(kuò)散；（3）磷硅玻璃去除及背面拋光；（4）氧化鋁制備；（5）氮化硅沉積；（6）印刷背電極；（7）背電場(chǎng)印刷；（8）正面印刷；（9）燒結(jié)、測(cè)試。本發(fā)明借鑒PERC電池結(jié)構(gòu)，通過(guò)絲網(wǎng)印刷方式制備氧化鋁鈍化膜實(shí)現(xiàn)正反面鈍化，整個(gè)制作過(guò)程不使用TMA（三甲基鋁），工藝過(guò)程安全可靠、環(huán)境友好，而且通過(guò)兩面氧化鋁鈍化，大大降低硅片正反面的表面復(fù)合，最終實(shí)現(xiàn)電池片轉(zhuǎn)換效率的提升。