一種RIE制絨的黑硅電池的制備方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201611067874.4 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN108123009B | 公開（公告）日 | 2020-04-10 |
| 申請公布號 | CN108123009B | 申請公布日 | 2020-04-10 |
| 分類號 | H01L31/18 | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 李化陽;張良;李良;王霞;姚玉;任海兵 | 申請（專利權）人 | 鎮(zhèn)江大全太陽能有限公司 |
| 代理機構 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 212211 江蘇省鎮(zhèn)江市揚中市新壩鎮(zhèn)大全路66號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種RIE制絨的黑硅電池的制備方法，包括如下步驟：步驟S1，去除黑硅片的正表面損傷層，以及對黑硅片的背面進行拋光處理；步驟S2，對所述黑硅片的表面進行磷源擴散，制備PN結；步驟S3，對所述黑硅片進行清洗、RIE制絨，在黑硅片的正表面形成納米絨面；步驟S4，對所述黑硅片的納米絨面進行修復，以去除納米絨面形成過程中的損失層；步驟S5，對所述黑硅片的正表面積淀上減反射膜；步驟S6，對所述黑硅片的背面分別印刷背銀、鋁漿后烘干，然后在其正表面印刷正銀后燒結，即可得到黑硅電池。 |
