多功能酸洗臺裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120367211.4 申請日 -
公開（公告）號 CN214313143U 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號 CN214313143U 申請公布日 2021-09-28
分類號 H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊培新;陳俊峰;洪紹鑫 申請（專利權(quán)）人 淄博綠能芯創(chuàng)電子科技有限公司
代理機構(gòu) 上海段和段律師事務(wù)所 代理人 李佳俊;郭國中
地址 255025山東省淄博市高新區(qū)中潤大道158號MEMS產(chǎn)業(yè)園區(qū)8#樓4樓416
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種多功能酸洗臺裝置，包括設(shè)備本體和控制裝置，其中：設(shè)備本體中部設(shè)置有操作平臺，操作平臺上設(shè)置有酸槽和水洗槽；操作平臺的上方設(shè)置有控制樣品運動的機械臂；操作平臺的周向側(cè)壁設(shè)置有抽氣系統(tǒng)；控制裝置控制機械臂的運動，控制對酸槽、水洗槽的清洗程序。本實用新型解決了手動酸洗臺酸槽種類少，針對晶圓尺寸單一，制程流程不連貫，使用過程繁瑣等諸多問題，大大提升了使用設(shè)備時的安全性和便利性。