半導體蒸發(fā)鍍膜設備蒸發(fā)源預熔化擋板結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122745518.6 申請日 -
公開（公告）號 CN216514082U 公開（公告）日 2022-05-13
申請公布號 CN216514082U 申請公布日 2022-05-13
分類號 C23C14/24（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 陳燦 申請（專利權(quán)）人 淄博綠能芯創(chuàng)電子科技有限公司
代理機構(gòu) 上海段和段律師事務所 代理人 -
地址 255025山東省淄博市高新區(qū)中潤大道158號MEMS產(chǎn)業(yè)園區(qū)8#樓4樓416
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及擋板結(jié)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域的半導體蒸發(fā)鍍膜設備蒸發(fā)源預熔化擋板結(jié)構(gòu)，包括蒸發(fā)源預熔擋板和連接桿，蒸發(fā)源預熔擋板通過固定塊螺栓連接于連接桿上，連接桿安裝于半導體蒸發(fā)鍍膜設備的轉(zhuǎn)軸上，蒸發(fā)源預熔擋板位于蒸發(fā)源正上方。本實用新型通過擋板有效阻擋了蒸發(fā)源散預熔化時發(fā)出來的分子或原子泄漏到產(chǎn)品上，提高產(chǎn)品的質(zhì)量，降低成本；通過連接桿的使用有效實現(xiàn)對擋板的轉(zhuǎn)動，便于使用。