一種肖特基二極管結(jié)構(gòu)及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110602533.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113193054A 公開（公告）日 2021-07-30
申請公布號 CN113193054A 申請公布日 2021-07-30
分類號 H01L29/872;H01L23/31;H01L21/329 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 淄博綠能芯創(chuàng)電子科技有限公司
代理機構(gòu) 上海段和段律師事務(wù)所 代理人 李佳俊;郭國中
地址 255025 山東省淄博市高新區(qū)中潤大道158號MEMS產(chǎn)業(yè)園區(qū)8#樓4樓416
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種肖特基二極管結(jié)構(gòu)及其制備方法，包括第一金屬鍍層、第二金屬鍍層、保護(hù)層、及襯底片；所述第一金屬鍍層設(shè)置在所述第二金屬鍍層下，所述第一金屬鍍層的面積大于所述第二金屬鍍層的面積，所述第二金屬鍍層與所述第一金屬鍍層的邊緣位置不接觸；所述第一金屬鍍層設(shè)置在所述襯底片上，所述保護(hù)層覆蓋在所述第一金屬鍍層的邊緣位置處。本發(fā)明解決了在制備銀表面高可靠性肖特基二極管時,由于保護(hù)層與第二金屬鍍層間粘合力不足，保護(hù)層會發(fā)生脫落的問題。