脊形陣列半導(dǎo)體激光器及其制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610578278.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107645121A 公開（公告）日 2018-01-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN107645121A 申請(qǐng)公布日 2018-01-30
分類號(hào) H01S5/22;H01S5/343 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃瑩;李德堯;劉建平;張立群;張書明;楊輝 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 杭州增益光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市銘粵知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 杭州中科極光科技有限公司;杭州增益光電科技有限公司
地址 310000 浙江省杭州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)白楊街道21號(hào)大街600號(hào)2幢107室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種脊形陣列半導(dǎo)體激光器，包括襯底、形成于所述襯底上的外延結(jié)構(gòu)，所述外延結(jié)構(gòu)的頂部具有脊形半導(dǎo)體層，所述脊形半導(dǎo)體層包括多個(gè)脊形部，所述多個(gè)脊形部的寬度不相等。本發(fā)明提出的脊形陣列半導(dǎo)體激光器，通過在外延結(jié)構(gòu)的頂部設(shè)置多個(gè)脊形部，多個(gè)脊形部的寬度不相等，能夠降低激光器在工作時(shí)有源區(qū)中心與有源區(qū)兩側(cè)的溫差，從而使得整個(gè)激光器結(jié)構(gòu)溫度分布均勻，使得激光器工作時(shí)輸出特性一致。