脊形半導(dǎo)體激光器及其制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610583933.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN107645122A 公開(kāi)（公告）日 2018-01-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN107645122A 申請(qǐng)公布日 2018-01-30
分類(lèi)號(hào) H01S5/227;H01S5/323 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃瑩;李德堯;劉建平;張立群;張書(shū)明;楊輝 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 杭州增益光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市銘粵知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 杭州中科極光科技有限公司;杭州增益光電科技有限公司
地址 310000 浙江省杭州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)白楊街道21號(hào)大街600號(hào)2幢107室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種脊形半導(dǎo)體激光器，包括襯底、形成于所述襯底上的外延結(jié)構(gòu)，所述外延結(jié)構(gòu)的頂部具有脊形半導(dǎo)體層，所述脊形半導(dǎo)體層包括脊形部以及位于脊形部?jī)蓚?cè)的第一臺(tái)階部和第二臺(tái)階部；在所述脊形部的兩側(cè)面以及所述第一臺(tái)階部和第二臺(tái)階部的上表面，應(yīng)用離子注入工藝分別形成有離子注入層。本發(fā)明提出的半導(dǎo)體激光器能夠抑制載流子向脊形兩側(cè)的擴(kuò)展，提高載流子的注入效率。此外，P型氮化鋁鎵上限制層與N型氮化鋁鎵離子注入層形成P?N結(jié)，當(dāng)激光器工作在正向時(shí)，此P?N結(jié)工作在反向，漏電較小，即使激光器無(wú)絕緣層，也可以阻止電流從脊形部?jī)蓚?cè)注入。