一種晶圓加工的載物臺(tái)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120047222.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214043621U 公開（公告）日 2021-08-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN214043621U 申請(qǐng)公布日 2021-08-24
分類號(hào) H01L21/683（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 夏華忠;黃傳偉;李健;諸建周;呂文生;談益民 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇東海半導(dǎo)體股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無(wú)錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 殷紅梅;胡家銘
地址 214142江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)碩放街道中通東路88號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種晶圓加工的載物臺(tái)，包括臺(tái)體，臺(tái)體中心螺紋連接中心調(diào)整螺栓，中心調(diào)整螺栓外周設(shè)有若干周部調(diào)整螺栓，周部調(diào)整螺栓布置第一真空槽和第二真空槽，第一真空槽與第二真空槽之間設(shè)有鑷子取物口，臺(tái)體為圓形。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于實(shí)現(xiàn)，成本較低；只有在晶圓的邊緣和中心部位有支撐和接觸；中間的支撐柱高度可以調(diào)整；除了中間和邊緣區(qū)域以外為鏤空區(qū)域，不和晶圓接觸。